碳化矽（SiC）晶圓超聲劃片-深圳蜜芽成人科技有限公司

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發布：2022-06-27

SiC超聲輔助切割技術

引文：DISCO Technical Review Mar. 2016

摘要：SiC是一種（zhǒng）難加工（gōng）的材料，有望成為功率器件的新材料，因其硬度而進行常規刀片（piàn）切（qiē）割。建議使用超聲波（bō）切割和隱（yǐn）形切割加工SiC晶圓。在這篇綜述中，我們介紹了這些劃片技術的每一個特點，以及比（bǐ）較質量和生產率。